本發(fā)明公開了一種去除石化工業(yè)廢氣中苯系物的處理方法，廢氣依次通過余熱交換器、氣體過熱保護裝置、熱式氣體質(zhì)量流量計、混合氣體流量調(diào)節(jié)閥、布袋式除塵器、鎢線圈表面活化?臭氧氧化處理裝置、煙氣水洗凈化塔、引風(fēng)機進行處理。本發(fā)明創(chuàng)造性的利用了臭氧在某些金屬單質(zhì)表面所特有的表面活化特性，當鎢金屬線圈處于通電熾熱的狀態(tài)下，臭氧在其表面可迅速釋放出活化氧原子，可在鎢金屬表面產(chǎn)生一種強氧化環(huán)境，當諸如苯系物等含有共軛效應(yīng)C?C鍵的分子處于此種強氧化環(huán)境下時，其共軛C?C鍵會被活化氧原子打破，苯系物分子終被氧化分解為H2O和CO2等無機分子，從而達到去除廢氣中苯系物的目的。