本發(fā)明公開(kāi)了一種具有輔助散熱裝置的光刻機(jī)，包括光刻機(jī)和光刻機(jī)下方活動(dòng)連接的散熱柜，散熱柜前方表面開(kāi)設(shè)有散熱窗，散熱柜左右兩側(cè)開(kāi)設(shè)有活性散熱窗，活性散熱窗包括有固定桿，固定桿固定連接于散熱柜左右兩壁內(nèi)，固定桿內(nèi)部設(shè)置有活動(dòng)軸，活動(dòng)軸表面活動(dòng)連接有窗葉。該具有輔助散熱裝置的光刻機(jī)通過(guò)設(shè)置散熱裝置來(lái)對(duì)內(nèi)部進(jìn)行散熱，通過(guò)內(nèi)部的固定柱來(lái)進(jìn)行對(duì)散熱扇的固定，通過(guò)設(shè)置兩個(gè)雙軸電機(jī)為同步運(yùn)轉(zhuǎn)，來(lái)帶動(dòng)固定柱兩邊的扇軸與轉(zhuǎn)動(dòng)軸，扇葉的形狀呈不規(guī)則形狀，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)所帶動(dòng)的氣流隨著扇葉的形狀吹出來(lái)，形成不規(guī)則的氣流，從而帶動(dòng)光刻機(jī)內(nèi)部的各方向氣流，避免散熱不完整出現(xiàn)散熱死角。