本發(fā)明公開了一種低燃型多晶硅生產(chǎn)用廢氣凈化裝置，屬于廢氣處理技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明在對(duì)廢氣中硅粉進(jìn)行過濾操作的過程中，通過出氣管不僅對(duì)凈化后的廢氣進(jìn)行導(dǎo)出，同時(shí)，承受著廢氣導(dǎo)出時(shí)的氣流沖擊，實(shí)現(xiàn)出氣管帶動(dòng)空心濾球進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，一方面，位于定板下側(cè)的空心濾球的下半球面對(duì)廢氣進(jìn)行凈化作用，另一方面，凈化后的廢氣進(jìn)入空心濾球內(nèi)部，繼而對(duì)空心濾球的上半球面進(jìn)行氣流沖擊，將空心濾球外表面過濾的硅粉吹起，使其粘附在粘附毛板上，不僅實(shí)現(xiàn)了對(duì)硅粉的回收過程，同時(shí)，通過出氣管的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了空心濾球的同步過濾和脫附過程，使空心濾球表面不易發(fā)生硅粉堵塞，實(shí)現(xiàn)持續(xù)過濾和回收過程。